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RELATED ARTICLES等离子增强化学气相沉积炉(PECVD系统)是借助于放电等离子体使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应,从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术。由于PECVD技术是通过应气体放电来制备薄膜的,有效地利用了非平衡等离子体的反应特征,从根本上改变了反应体系的能量供给方式。
1200℃快速退火炉是节能型周期作业退火炉。它采用业内高标准的高纯陶瓷纤维高压模块,组成全纤维保温炉衬。其发热元件从材质到设计经过严格质量控制,达到高的热效率使用,实现快速加热,快速完成退火热处理工艺。在节能节电方面的优势更加突出,微电脑程序控制整个退火工艺过程,实时自动化计算退火工艺所需的功率,同比节能节电30-50%。
1700℃双温区旋转管式炉是一款供金属氧化物或者其它无机材料的细微颗粒再氧化或者还原性气氛中进行焙烧处理,是粉末冶金、陶瓷、耐火材料、锂电正负极材料、新能源等行业颗粒粉末烧成、煅烧,测定材料在一定气氛条件下的专业设备。
1200℃双温区旋转管式炉集控制系统与炉膛为一体。炉衬使用真空成型高纯氧化铝聚轻材料,采用硅碳棒为加热元件,均匀分布于炉管两侧,温场均匀可靠。镍基合金材料制成的金属炉管配备CF法兰密封形式及金属紫铜密封圈,提高设备的使用温度,同时能实现在一定的高压条件下实验。
1200℃五温区管式炉主要用于石墨、陶瓷、锂电池、稀有金属、稀土、生物材料等在气氛保护下进行烧结、镀膜、热处理、灰分测定等,也适用于石墨烯、碳纳米管、二硫化钼等二维材料的制备。
1700℃三温区管式炉是用氧化铝纤维板材料重量轻,保温效果好。管式炉升温速度快,节能50%以上,省时1倍。适用于在氧化条件下或在真空气氛条件下的升温实验。具有抗干扰能力强,控制精度高,冲温值小的特点与箱式电炉相比智能控制仪,管式炉仪表采用模块化结构,EMI抑制技术模糊PID调节,具有抗干扰能力强,控制精度高,冲温值小。