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VHSms-20/20/30-1700真空硅钼棒炉

产品简介

VHSms-20/20/30-1700真空硅钼棒炉为气体保护多用途炉,可满足在还原气体或成型气体气氛中对蓝宝石退火,还原、烧结和表面处理等工艺需要,广泛应用于航空航天、金属材料、粉末冶金、陶瓷产品、半导体器件、厚膜电路、磁性材料等领域。

产品型号:
更新时间:2024-01-26
厂商性质:生产厂家
访问量:334
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VHSms-20/20/30-1700真空硅钼棒

V2MS17技术方案书

一、                      主要用途

VHSms-20/20/30-1700真空硅钼棒炉为气体保护多用途炉,可满足在还原气体或成型气体气氛中对蓝宝石退火,还原、烧结和表面处理等工艺需要,广泛应用于航空航天、金属材料、粉末冶金、陶瓷产品、半导体器件、厚膜电路、磁性材料等领域。

1.                      用于晶片的还原气氛下保护烧结;

2.                      用于一些难熔金属在还原气氛保护下烧结                                                                

3.                      用于在真空高温环境中有蒸发的材料钎焊;

4.                      用于粉末材料还原烧结成型                                                                            

5.                      可满足蓝宝石退火需要。

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(设备图示,以实际出货产品为准)

二、                      主要特点

1.                      具备完善的报警功能,更的安全连锁保护系统                                            

2.                      完善的气氛控制系统,满足各种工艺需要      

3.                      高性能优质电气元件保证设备长期运行的稳定可靠性                                          

4.                      低负荷加热器,可有效提高设备的使用寿命;

三、                      设备型号

本设备为卧式周期式真空气氛炉,型号为VHSms-20/20/30-1700V2MS17,其具体代码含义如下图所示。

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四、                      主要技术参数

1.       额定加热功率:        9KW(以实际为)

2.       最高温度            1700(设计温度)

3.       长期工作温度:        1600(验收温度)

4.       加热元件:                        硅钼棒

5.       控温精度:                        充气±2;稳定±1

6.       炉膛尺寸        200×200×300mmW×H×D

7.       冷态极限真空度:        6.7X10-1Pa(空炉并经净化)

8.       测温传感器:                B型热电偶

9.       冷却方式            充气自然冷却

10.       保护气氛            氮气或氩气,一路气氛

11.       气氛压力:                        0.02MPa(微正压、表压)

12.       混气系统:               1通道浮子流量计供气系,浮子流量计0-10L/min

13.       控制方式            /自动自由切换

五、                      设备采用的标准

设计和制造采用的主要标准如下:

1.                      GB6654-1996 压力容器的钢性选用

2.                      GB10067.1-88 电热设备的基本技术条件

3.                      GB5959.1-88 电热设备的安全

4.                      GB10066.1-88 电热设备的试验方法

其它有关标准参照工业炉设计手册。

六、                      结构组成

本设备由炉体、炉门、加热与保温系统真空系统、气路系统、冷却系统、气动系统、温度及电气控制系统安全系统等组成。

七、                      设备结构特征

1.                      炉体

炉体为双层壳体卧式结构,内304不锈钢,并经仔细的抛光,表面光滑,有利于缩短抽气时间,且便于清洁。双层壳体之间通水冷却确保炉壁温度低于55。炉体及其接管内表面抛光后均经过严格的水压及气压试验,以确保焊缝质量而不发生渗漏,真空室经过严格的真空极限及真空漏率测试。

炉体侧部设有真空抽气口、热电偶测温口、进出口、电极口等。炉体上压头的密封采用可靠的金属波纹管密封。

附属品:        

1)       真空接管

2)       电极引入接管

3)       热电偶引入接管

4)       真空测量及真空指示接管

5)       冷却水接管

6)       炉腿

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2.                      

炉门采用双层水冷结构,内304不锈钢经精密抛光处理,内外壁之间通水冷却,炉门侧部设有进出水口等

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3.                      加热与保温系统

炉衬采用复合炉衬,内侧耐火炉衬选用多孔氧化铝砌筑,外层选用氧化铝纤维板及硅酸铝纤维棉组成复合保温炉衬,合理的卡槽式拼装结构,能有效保证炉膛的牢固性、温度的损耗;合理的加热器对辐射排布及功率的分布都有效的保证温场的均匀度,此种结构保温效果好,炉墙使用寿命长。

加热系统由电力控制器、电极、发热体、热电偶等组成。

1)加热功率及分布

采用单区加热控温,安装一支控制热电偶,加热炉的发热体采用硅钼棒,发热元件均匀布置于炉膛两侧,有效的保证了温场的均匀性提高加热系统的可靠性,安全性。

2)测温装置

测温元件采用B型热电偶配合温度控制仪进行温度闭环控制测温元件测量温度并供给温度控制器控制信号,从而调整功率调控器的输出,从而控制变压器的输出大小满足系统的控温需求此外,在保温屏外侧,设有监测热电偶,当系统超温时,通过控制系统及时切断加热电源,确保设备安全

4.                      真空系统

真空系统由直联泵扩散泵、气动高真空阀、真空变送器、真空压力表、真空放气阀真空管路等组成,并留有充气接口。为减少炉体振动,真空管道与泵的连接采用金属波纹管,真空真空变送器测量。

真空阀门设掉电保护和安全联锁,如设备突然断电,真空系统的各系统阀门自动调整为关闭状态,保护真空室。

所有真空管路均采用不锈钢或碳钢电镀制造管路连接处采用金属波纹管连接,以隔绝直联泵的震动,防止将震动传递至真空加热室系统。

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5.                      气路系统

气体系统主要完成运气、排气等动作。气路控制均采用安全电磁阀、手动针阀控制,采用电子式数显压力表,对炉膛压力能时时监控,当到达压力会自动关闭进气管上的电磁阀,并进行报警,使用安全性更高。气体系统增加故障时自动放气和手动放气的选择功能,解决用户特殊情况下的断电排气问题。

集成式的气路、电路控制面板,让客户操作更加方便;所有进气口全部经过短暂预热直接进入炉膛使用区域,以便保护气氛能最快、全面的接触工件(可以通氩气、氮气等惰性气体);炉体后部有二路进气口,右侧有二路排气口(排放气体密度大于空气密度的保护气氛气体、也可作为紧急时破除真空用接口)。

本设备压力系统由气源装置(气瓶用户自备)、阀门站、控制气路、超高压管路等组成。其作用是根据工艺要求,向工作缸提供高压气体

6.                      水冷系统

系统由集成式进水组件(不锈钢管)、集成式回水组件(不锈钢管)、球阀、优质橡胶管及接头等组成。回水方式采用封闭式,在关键回路如电极上设置了水温水流量传感器,水温过高或水流量不足时及时报警并停止加热。

进水主管路上设有电接点压力表,当水压不足时提供信号给控制系统,然后由控制系统判断报警,启动备用水源系统或切断电源。设备的备用水装置由客户自备,备用水流5m3/h

水路特点:

1)                      所有水路管道均采用耐高温、高压软管材质,确保不生锈;其他辅助水路管道采用高压防爆管道。确保水路安全;

2)                      关键管路设置有水流量传感器和水温传感器和报警装置,水流量过低报警,水超温报警,及时发现安全隐患。进水路欠水压与加PLC互锁,水压低时,报警并停止加热。

3)                      使用方须做好备用水源UPS电源。主电路停电可立即切换UPS电源,给水泵供电,冷却水源循环,确保炉体安全。

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7.                      气动系统(需选配空压机

由气动三联件(除水器、压力表、油雾器)、电磁换向阀,管道和产气量0.6m3/min的空压机(可选配)等组成。可对气动执行元件(如气缸、充气阀、真空阀门等)提供洁净的压缩空气,确保气动原件运行稳定可靠,管路走向整洁美观

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8.                      温度及电气控制系统

电气控制系统:全自动 PLC+触摸屏系统,可以手动、自动切换。

电源控制系统软件介绍: 有以下特点:

1)       源控制具有手动和自动两种控制方式,手动和自动都可以在触摸屏上控制,操作方便、系统稳定,具有误操作提示报警功能。

2)       温控系统:全自动 PLC+触摸屏系统,可以手动、自动切换,采用热电偶和控温仪表控制电源的输出从而控制模具的温度,触摸电脑自动记录烧结过程及历史曲线。配备 PLC 控制器(西门/欧姆龙),具有 PID 及超温报警功能,能储存和输出记录,清晰反应炉子工作状况。

3)       控制系统软件由我公司自行开发,人机界面操作系统,画面友好,操作简单,响应速度快,可对炉内工况进行实时监测,系统稳定可靠。

4)       本设备可自动采集温度曲线、真空度曲线和烧结时间等曲线,对各个工艺参数(温度、真空度)实现动态显示,方便用户根据历史曲线分析烧结工艺。

5)       通讯接口丰富,如 RS485LANUSB 等,易于和其它设备 组网应用。软件控制界面形象化,能够动态显示工作流程,方便直观。

6)       控制系统上设有过流、超温及断水等分类报警功能,电器元件采用施耐德、 LG等品牌,产品品质有保证。电控柜按照西门子标准制作,所有的仪表及控制元件集中到一个电控柜内。

7)       软件免费升级。

温度的控制也可通过数显温度程序控制仪根据用户设定的工艺曲线,实行自动控制温度,并具PID自整定功能,也可根据用户需要手动控制温度。

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八、                      安全保护系统

1.                      电气联锁保护系统;

2.                      保险丝;

3.                      电热过电流保护装置。

九、                      整机要求

1.                      电力需求     220V/380V,三相五线制12KVA50Hz

2.                      起重设备     1.2

3.                      压缩空气气源

1)                      耗量     ~3L/s

2)                      压力     0.6Mpa

4.                      水源:

1)                      耗量      10m3/h

2)                      水压      0.15~0.3Mpa

3)                      进水水温 25

4)                      水质      PH7.08.5,悬浮物固体100mg/L,总硬CaO10mg/L,溶解性固体30mg/L,电导率500μS/cm;及总排水管与设备的连接管路和阀门;

十、                      安装、调试及验收

1.                      甲方负责地基、气源、乙方电控柜的总线输入端之前的进线电缆。在所有准备工作完成后,通知乙方进行安装、调试。设备以卖方组织,买方配合的方式在买方现场安装、调试并达到买方正常使用的要求;

2.                      验收工作完成后,由双方共同签署设备最终验收报告。

十一、                      培训

1.                      设备安装调试过程中,卖方同时对买方设备使用人员进行必要的操作和维护保养的培训。经培训,用户技术人员能够达到独立正确操作设备并能判断故障及简单维修。

2.                      培训计划和内容:

序号

培训计划

培训时间(天)

培训人员

地点

1

操作培训

1

工程1

验收现场

2

维护保养培训

验收现场

3

故障判断及简单维修培训

验收现场







十二、                      保固期

机器全系统保固壹年。

十三、                      售后

保固期内,若设备发生故障(易损件除外),我公司2小时内给予回复,并72小时内派员到达现场,组织维修。

长期优惠提供备品备件。

十四、                      随机资料

1.                      操作说明书。

2.                      出厂检验报告。

3.                      安装调试必需的图纸。

十五、                      客户选配配件

1.                      冷水HCA-10      1

2.                      水路管道及法兰   1

3.                      空压HA-1        1

4.                      分子泵/DM/OD1

编号

产品型号

炉膛尺寸(mm)

加热功率(kw)

真空度(Pa)

最高温度()

加热元件

适用工艺

外形尺寸(mm)

V2GR20

VHSgr-20/20/30-2000

200x200x300

45

6.7X10-3

2000

石墨电阻

烧结/退火/脱脂/氢气

1560×1690×1850

V2GR23

VHSgr-20/20/30-2300

200x200x300

50

6.7X10-3

2300

石墨电阻

烧结/退火/脱脂/氢气

1560×1690×1850

V2MO13

VHSmo-20/20/30-1300

200x200x300

40

6.7X10-3

1300

钼带电阻

烧结/退火/钎焊/脱脂/氢气/脱气

1560×1690×1850

V2MO16

VHSmo-20/20/30-1600

200x200x300

45

6.7X10-3

1600

钼带电阻

烧结/退火/钎焊/脱脂/氢气/脱气

1560×1690×1850

V2W20

VHSw-20/20/30-2000

200x200x300

45

6.7X10-3

2000

钨带电阻

烧结/退火/钎焊/脱脂/氢气

1560×1690×1850

V2W23

VHSw-20/20/30-2300

200x200x300

50

6.7X10-3

2300

钨带电阻

烧结/退火/钎焊/脱脂/氢气

1560×1690×1850

V2CO20

VHSco-20/20-2000

Φ200X200

45

6.7X10-3

2000

感应线圈

烧结/退火

1560×1690×1850

不含电源尺寸

V2CO23

VHSco-20/20-2300

Φ200X200

50

6.7X10-3

2300

感应线圈

烧结/退火

1560×1690×1850

不含电源尺寸

V2MS17

VHSms-20/20/30-1700

200x200x300

12

6.7X10-2

1700

硅钼棒电阻

氧化/烧结/退火

1560×1690×1850

V2MO17

VHSmo-20/20/30-1700

200x200x300

12

6.7X10-2

1700

钼棒电阻

还原/烧结/退火

1560×1690×1850





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