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1700℃真空管式气氛炉采用先进技术研制开发的高性能高节能的新型电炉,有单管、双管、卧式、可开启式、立式、单温区、双温区、三温区等多种管式炉型。设备具有安全可靠、操作简单、控温精度高、保温效果好、温度范围大、炉膛温度均匀性高、温区多、可选配气氛、抽真空炉型等。
1700℃管式气氛炉以硅碳棒为发热元件;双层风冷结构;高纯氧化铝纤维真空吸附一次成型;高密度硅碳棒真空挤压成型;刚玉管外径为60、80mm。两个温区分别由两个独立的温控系统来控制且都为PID30段程序化控温。
1400℃立式管式炉为立式结构使得气体排放更加顺畅,炉体垂直安装在可移动支架上有利于炉管取放温度的均匀性,可以预抽真空并能通氢气、氩气、氮气、氧气、一氧化碳、氨分解气等多种气体;该炉又具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点,特别适合薄膜生长、电极测试、氧化物晶体生长、快速退火等实验需要。