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RTP快速退火炉适用于下列工作条件
点击次数:332 发布时间:2020-01-02
   RTP快速退火炉一般都是以碘钨灯管为发热元件,升温速度极快,采用S型热电偶测温并采用国际的模糊PID控制,具有很高的控温精度<±5℃>,该炉具有真空装置,可在多种气氛下工作。大大提高了其使用范围。标准配件需:高温手套1付,热电偶1根,石英管1根,真空法兰1套。可选配件:氧化铝坩埚,石英坩埚,真空泵。
 
  该设备可选择单设定点或30段可编程控制器。节能型的陶瓷纤维材料和双层结构,可将外表温度降到常温。均温区长,操作简便,密封可靠,综合性能指标较高,处于国内*水平。炉管可选择配置耐热钢、石英玻璃、陶瓷管等材料。
 
  产品用途:
  主要应用于院校实验室、工矿企业实验室,如:薄膜沉积,可在真空、不同气氛、空气不同环境下,对样品进行快速热处理,不同材料快速退火、硅化、扩散、晶化和致密化等。

  结构与配置:
  该炉型具由我公司专业化设计制造的保温层,采用业内高标准的高纯陶瓷纤维高压模块,组成全纤维保温炉衬。RTP快速退火炉的发热元件从材质到设计经过严格质量控制,能够极大提高加热效率,快速完成退火热处理工艺。在节能节电方面的优势更加突出,微电脑程序控制整个退火工艺过程,实时自动化计算退火工艺所需的功率,同比节能节电30-50%。
 
  此炉适用于下列工作条件:
  1、环境温度在-10~75℃之间。
  2、周围环境的相对湿度不超过85%。
  3、炉子周围没有导电尘埃,爆炸性气体及严重破坏金属和绝缘材料的腐蚀性气体。
  4、没有明显的倾斜﹑振动和颠簸。
 
  产品特点:
  1、可测大尺寸样品:可测单晶片样品的Zui大尺寸为4英寸(100mm)。
  2、快速控温与高真空:Zui高升温速率可达100℃/s,真空度Zui高可达到10Pa。
  3、程序设定与气路扩展:Zui多可创建和存储32个程序、8个PID设定,实现不同温度段的精确测试。Zui多可扩展至4条工艺气路(MFC),应用不同气氛环境(真空、氮气、氩气、氧气、氢氮混合气体等)。
  4、全自动智能控制:采用全自动智能控制,包括温度、时间、气体流量、真空、气氛、冷却水等均可实现自动控制。
  5、超高安全系数:采用炉门安全温度开启保护、温控器开启权限保护以及设备急停安全保护三重安全措施,全面保障仪器使用安全。
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