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气相沉积炉在技术上有什么特点?安装要注意什么?
点击次数:280 发布时间:2022-07-20
  气相沉积炉是时代发展进步的产物,它是通过化学反应的方式,利用加热、等离子激励或光辐射等各种能源,在反应器内使气态或蒸汽状态的化学物质在气相或气固界面上经化学反应形成固态沉积物的技术。简单来说就是:两种或两种以上的气态原材料导入到一个反应室内,然后他们相互之间发生化学反应,形成一种新的材料,沉积到基片表面上。CVD和PVD相比,沉积过程要发生化学反应,是一个气象化学生长的过程。

  目前,本设备是由沉积室、供气系统和排气系统组成,是以电阻加热或者感应加热的方式,在真空环境下,通入沉积气体,并在高温下产生裂解后沉积到工件上,使复合材料得到致密化处理的生产设备。

 

  技术特点:
  1.气相沉积炉可以控制涂层的密度和涂层纯度。
  2.气相沉积炉可以通过各种反应形成多种金属、合金、陶瓷和化合物涂层。
  3.在中温或高温下,通过气态的初始化合物之间的气相化学反应而形成固体物质沉积在基体上。
  4.采用等离子和激光辅助技术可以显著地促进化学反应,使沉积可在较低的温度下进行。
  5.涂层的化学成分可以随气相组成的改变而变化,从而获得梯度沉积物或者得到混合镀层。
  6.沉积层通常具有柱状晶体结构,不耐弯曲,但可通过各种技术对化学反应进行气相扰动,以改善其结构。
  7.绕镀件好。可在复杂形状的基体上以及颗粒材料上镀膜。适合涂覆各种复杂形状的工件。由于它的绕镀性能好,所以可涂覆带有槽、沟、孔,甚至是盲孔的工件。

  气相沉积炉的安装说明:
  1.安装时:没什么特殊要求,在室内地面或台架上,电炉控制器应放在工作台上,台面倾斜度不得超过5度,控制器离实验室电炉小距离不得少于0.5米,为了保证控制器的正常运转,控制器不宜放在电炉上面。
  2.接线时,首先转松控制器外壳左右两侧的螺钉,然后将罩壳上翻,接好电源线后,控制器与电炉的连线及热电偶连接线,将热电偶从热电偶固定座的小孔中插入炉膛,孔与热电之间间隙用石棉绳堵塞,然后固定。
  3.检查完接线后,即可通电,然后打开回转炉控制器面板上的开关,调节设定按钮,把温度设定到您所需要的度数上,如果把设定开关拔向测量位置上,红灯灭,亦有接触器的吸合声响,电炉通电,电流表指示加热电流值,温度随炉内温度升高而徐徐上升,说明工作正常。
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